Tarkka viiden akselin CNC-puolijohde-tyhjiökammion tekniset tiedot

Monoblock-jyrsintäominaisuudet puolijohdetyhjökammioihin

Eliminoimalla rakenteelliset hitsit helium{0}}tiiviiden tiivisteiden ja erinomaisen mekaanisen eheyden saavuttamiseksi prosessikammioissa.

Xiamen Dazao Machinery tuottaa monoblokkia5-akseliset CNC-koneistetut puolijohdetyhjiökammiotsuunniteltu korkeatyhjiö- (HV) ja ultra{0}}high vacuum (UHV) -järjestelmiin. Hyödyntämällä moniakselisorvausta ja 5-akselisia samanaikaisia ​​CNC-jyrsintäkeskuksia, ruostumattomasta teräksestä 304, 316L ja Al6061-T6 valmistetut kiinteät aihiot muunnetaan tarkiksi tyhjiökoteloiksi ilman rakenteellisia hitsejä.

Tuotantokykymme tukevat laatikko{0}}muotoisia PVD-pinnoituskammioita, plasmaetsauskammioita, kiekkojen kuormituslukkomoduuleja ja pallomaisia ​​UHV-reaktioastioita. Poistamalla sisäisen huokoisuuden, materiaalin aukot ja lämmön{2}}vaikuttaman vyöhykkeen hitsausvirheet5-akselinen CNC-työstö puolijohteiden tyhjiökammioprosessi tarjoaa vakaat tiivistysrajat, jatkuvat sisäiset jäähdytyskanavat ja vääristymättömät{0}laippapinnat maailmanlaajuisille työkalunvalmistajille.

Kenttävikojen analyysi ja korjaavat toimenpiteet

Todellisen-tekniikan perussyyarviot puolijohdelaitteiden kenttäasennuksista.

1: PVD-pinnoituskammion mikrolaippa-vuotojen korjaus

· Perussyy:Eurooppalainen ohut{0}}kalvolaiteasiakas koki 30 %:n epäonnistumisprosentin heliumvuototestauksen aikana vanhan myyjän koneistamien laatikko-ruostumattomasta teräksestä valmistettujen PVD-kammioiden yhteydessä. Vikaanalyysi paljasti mikroskooppisia syöttöjälkiä ja laipan tasauspoikkeamaa, joka ylitti 0,05 mm tiivistepinnan poikki.

· Suunnittelutoimet:Otimme käyttöön peilijyrsinnän käyttämällä erityistä{0}}tasojyrsintägeometriaa ja sen jälkeen tarkkaa käsinläppäystä. Pinnan tasaisuus saatettiin arvoon alle tai yhtä suuri kuin 0,02 mm/m ja karheus pienennettiin Ra 0,4 um:iin. Jokatarkkuuskoneistetut ruostumattomasta teräksestä valmistetut komponentitajolle tehdään nyt 100 % heliummassaspektrometritestaus ennen lähettämistä, mikä nostaa kokoonpanon hyväksymisasteet 100 %:iin.

2: Kaasunpoiston vähentäminen pallomaisissa UHV-reaktioastioissa

· Perussyy:Tutkimuslaitos raportoi, että peruspaineet pysähtyvät 10^-7 Pa:iin pallomaisessa uhv-kammiossa, jossa oli standardista SS304 valmistetut cf-laipat. Sisäisen pinnan epäpuhtauksien ja kosteuden aiheuttamat korkeat kaasupäästöt estivät pumppaamisen vaaditulle 10^-9 Pa:n tasolle.

· Suunnittelutoimet:Muutimme materiaalimäärittelyn vähähiiliseen SS316L:hen, integroimme 900 asteen tyhjiöhehkutuksen kaasusyklin ja toteutimme sisäisen sähkökiillotuksen alentaaksemme pinnan karheutta arvoon Ra Less tai yhtä suuri kuin 0,2 µm. Puhdashuoneen ultraäänipesun ja tyhjiöpaistamisen jälkeen äärimmäinen tyhjiö saavutti 10^-9 Pa spesifikaation sisällä.

3: Kuormalukituskammion laippa vääntyy paineen alaisena

· Perussyy:Eräs kiekkolaitteiden valmistaja havaitsi puolijohdekuormituslukkokammiossa progressiivisen alipainehäviön kuuden kuukauden käytön jälkeen. Nopea tyhjennys---tyhjiöpainejakso vapautti jäännöstyöstöjännityksen ja väänsi päätiivisteen oven laippaa 0,03 mm.

· Suunnittelutoimet:Otimme käyttöön kaksi{0}}vaiheisen jännityksenpoistoprosessin: karkea jyrsintä → lämpöhehkutus → puoli-viimeistely → toissijainen lämpöstabilointi → 5-akselinen viimeistelyjyrsintä työkalu-polun mikro-kompensaatiolla. Muokkauksen jälkeisissä kuormituslukon ovissa oli vääntöä, joka oli enintään 0,01 mm 10 000 painejakson jälkeen.

Tekniset erottimet ultra{0}}suurtyhjiövalmistukseen

Standardoidut metallurgiset ja testaustyönkulut, jotka erottavat puolijohde{0}}luokan kammiot kaupallisista konepajoista.

1. Luokiteltu tyhjiötiivistys ja 100 % heliumvuodon validointi:

· High Vacuum (HV) -standardi:Heliumin vuotonopeus Pienempi tai yhtä suuri kuin 1×10^-10 Pa·m³/s. Optimoitu PVD-järjestelmille, kuormituslukkoille ja siirtomoduuleille.

· Ultra{0}}High Vacuum (UHV) -standardi:Heliumin vuotonopeus Pienempi tai yhtä suuri kuin 1×10^-12 Pa·m³/s. Suunniteltu plasmaetsaus- ja pintaanalyysijärjestelmiin.

2. UHV Material Outgassing Control Protocol:

· Materiaalierän jäljitettävyys matalan höyrynpaineen metalliseoksen valinnalla (SS316L, Al6061-T6).

· Korkea{0}}tyhjiölämpökaasukäsittely poistaa imeytyneen vedyn sisäisistä metallihiloista.

· Sähkökiillotus vähentää mikro{0}}huokoisuutta ja pinnan absorptiopinta-alaa.

3. Syklisen kuormituksen stabilointi:

· Kaksi{0}}vaiheinen lämpöhehkutus eliminoi jäännösjännityksiä.

· Työstöradan kompensointi estää rakenteellisen taipumisen ilmakehän painekuormituksen vaikutuksesta.

Suorituskyvyn vertailu: yksilohkoinen 5-akselinen jyrsintä vs. hitsatut kokoonpanot

Tyhjiön eheyden, tarkkuuden ja pitkän aikavälin{0}}käyttökustannusten kvantitatiivinen arvio.

Sovelluksille, jotka vaativat optimoitua lämmönhallintaa tai korroosiosuojaa, jälki{0}}työstöominaisuuksiimme kuuluu sertifioitukovapinnoitteen anodisointi ja sähkökiillotustyökaluvalmistajan standardeja vastaavia vaihtoehtoja.

Tekniset tiedot -taulukko

Tiukat toleranssit, pintakäsittelyt ja tyhjiökammioiden tarkastusstandardit.

Laadunvarmistus- ja tarkastusstandardit

Varmennusprotokollat, jotka varmistavat suoran integroinnin puolijohdeputkiin.

Valmistustoimintamme toimii ISO 9001:2015 -sertifioidun laatujärjestelmän alaisena. Tarkastusprotokollat ​​kattavat kaikki kammion valmistuksen vaiheet:

· Materiaalin tarkastus:Saapuvat materiaalierät läpikäyvät kemiallisen tarkastuksen optisen emissiospektroskopian (OES) avulla. Ultraäänitarkistukset varmistavat, ettei paksuihin pursotuksiin muodostu sisäistä aukkoa.

· Ensimmäinen artikkelitarkastus (FAI):FAI-mittaraportit luodaan Zeiss CMM -laitteistolla ennen täydellisten erätuotantoajojen julkaisemista.

· Prosessin{0}}tarkkuustarkastukset:Kriittiset tiivistysmitat, O-renkaan uran geometria ja ConFlat (CF) veitsen-reunaprofiilit tarkistetaan jyrsinnässä.

· 100 % heliumvuototestaus:Jokaiselle laatikon muotoiselle korkeatyhjökammiolle suoritetaan vuototarkistus käyttämällä tyhjiötilassa toimivia Pfeiffer Helium Mass Spectrometer Leak Detectors -vuotoilmaisimia.

· Puhdastilapakkaus:Osat puhdistetaan ultraäänellä deionisoidulla vedellä, tyhjiöpaistokaasulla, kaksinkertainen polyeteenipussitus puhdastilassa ja suojakotelo.

Materiaalin ja geometrian valintamatriisi

Materiaalien ominaisuuksien ja rakennemuotojen sovittaminen prosessikaasuympäristöihin ja tyhjiöalueisiin.

· Ruostumaton teräs 304 / 316L:Selected for operating bakeout temperatures >200 astetta, reaktiivinen prosessikemia ja äärimmäiset tyhjiövaatimukset alle 10^-7 Pa. SS316L on määritelty kloori- ja fluoriplasmaetsausprosesseihin.

· Alumiini 6061-T6:Käytetään paikoissa, joissa tarvitaan lämmönpoistoa, robottikiekkokäsittelijöiden painon pienentämistä ja nopeita pumppaus{0}}laskujaksoja. Alumiinioksidipinnan passivointi tarjoaa tehokkaan kaasunpoistoesteen.

· Laatikko / suorakaiteen muotoiset kotelot:Antaa suurimman sisäisen substraatin lataustilavuuden. Suositellaan pvd-pinnoitusjärjestelmän tyhjiökammiorakenteisiin ja automaattisiin siirtomoduuleihin.

· Pallomaiset/sylinterimäiset kotelot:Jakaa rakenteelliset painejännitykset tasaisesti täydellä ilmakehän erokuormalla. Ihanteellinen pallomaiseen uhv-kammioon, jossa on cf-laipat, jotka toimivat tieteen ja pinta-analyysin aloilla.

Kohdesovellusteollisuus

Palvelee maailmanlaajuisia puolijohdevalmistajien, pinnoituslaitteiden valmistajia ja tieteellisiä tutkimuslaboratorioita.

Puolijohdekiekkojen käsittely

Plasmasyövytyskammiopuolijohdelaitteiden, CVD-koteloiden ja ionisuihkumoduulien tuotanto.

PVD-ohut{0}}kalvopinnoitus

Monoliittiset kammiorungot integroiduilla kohdelaipoilla ja sisäisellä jäähdytyksellä sputterointijärjestelmiin.

UHV Research Laboratories

Mukautetut UHV-kammiot synkrotronivalolähteitä, pintafysiikkaa ja hiukkaskiihdytysjärjestelmiä varten.

Työkalujen huolto ja kunnostus

Uudelleen-koneistus ja tarkka{1}}sovitustarkkuus CNC-tyhjiökammiokomponentitvanhoille kiekkojen fab-linjoille.

Pyydä tarjous puolijohdetyhjiökammiosta

UKK

 

 

01.Kuinka erotat todellisen tyhjiövuodon ja materiaalin poistumisen testin aikana?

Virtuaalisten vuotojen erottaminen todellisista vuodoista edellyttää paineen nousutestausta ja jäännöskaasuanalyysiä (RGA). Kaasun poistuminen (useimmiten vesihöyry) saa pumpun alaskäyrät tasoittumaan välipaineilla, mutta paineen nousu tasaantuu ajan myötä, kun ne on eristetty. Todellinen ilmakehän vuoto osoittaa jatkuvan lineaarisen paineen nousun. Ratkaisemme kaasunpoiston tyhjiöhehkutuksen ja sähkökiillotuksen avulla ja vahvistamme todellisen nolla{4}}vuotojen tilan heliumin massaspektrometrialla.

02. Miksi valita alumiini 6061-T6 ruostumattoman teräksen sijaan puolijohdetyhjiökammioissa?

Kuten suunnittelukeskusteluissa korostettiin, alumiini tarjoaa 3 kertaa pienemmän tiheyden, erinomaisen lämmönjohtavuuden ja nopeamman paiston palautumisen kuin ruostumaton teräs. Alumiini muodostaa luonnollisesti pinta-alumiinioksidisulun, jolla on äärimmäisen alhainen vedyn läpäisy, mikä vähentää kaasun muodostumista korkeassa tyhjiössä ja alentaa työkalun painoa ja koneistuskustannuksia.

03.Kuinka estät ConFlat (CF) -veitsen-reunalaippojen vauriot ja purseet 5-akselisen koneistuksen aikana?

CF-veitsen-reunan tiivistyshuulet vaativat tarkat 90 asteen terävät profiilit, joissa ei ole tärinäjälkiä, jotta ne voivat pureutua puhtaasti hapettomiin-kuparitiivisteisiin. Käytämme erityisiä mukautettuja profiilileikkurityökaluja, erittäin-hienoja viimeistelysyöttöjä ja peilijyrsimiä. Jokainen veitsen terä käy läpi 100 %:n optisen suurennuksen tarkastuksen, jolla varmistetaan mikro-purseet tai reunan kaatuminen.

04. Miksi tyhjiökammio voi läpäistä staattisen CMM-tarkastuksen, mutta epäonnistua heliumvuototestissä?

Staattiset koordinaattimittauskoneet (CMM) mittaavat makro-geometriaa, mutta eivät pysty havaitsemaan mikro-huokoisuutta, syöttö-merkin jatkuvuutta tiivistepintojen välillä tai sub-mikronista pinnan tärinää. Heliumatomit tunkeutuvat mikro-uriin, jotka liukuvat CMM-kosketusanturien ohi. Yhdistämme peilijyrsinnän ja 100 % heliummassaspektrometrin testauksen täydessä tyhjiössä.

05. Mikä estää kuorman lukituskammion laippojen vääntymisen toistuvien painejaksojen aikana?

Tuuletus-to-tyhjiöpainejaksotus aiheuttaa syklistä mekaanista väsymistä ja vapauttaa aggressiivisesta raskaasta jyrsinnästä jääneet jäännösjännitykset. Poistamme tämän riskin ottamalla käyttöön monivaiheisen jännityksenpoistohehkutuksen karkeajyrsinnän, puoli-viimeistelyn ja viimeisen 5-akselin tarkkuusviimeistelyn välillä, mikä varmistaa pitkän aikavälin geometrisen vakauden ilmakehän differentiaalikuormituksen alaisena.

06. Miten sisäpinnan karheus (Ra) vaikuttaa tyhjiön peruspaineeseen?

Karkeammilla pinnoilla on mikroskooppisia huippuja ja laaksoja, jotka vangitsevat ilmakehän kosteutta ja prosessikaasuja, mikä lisää dramaattisesti poistuvan kaasun pinta-alaa. Kammion sisäseinien sähkökiillotus Ra 0,8 µm:stä Ra 0,2 µm:iin pienentää tehollista mikro-pinta-alaa jopa 80 %, mikä nopeuttaa kammion pumpun -pysäytysaikoja äärimmäisen UHV-paineen saavuttamiseksi.

Pyydä DFM-arviointi puolijohdekammiosuunnittelullesi

Lähetä 2D-suunnittelupiirustuksesi ja 3D-CAD-tiedostosi (STEP, IGES, X_T) teknistä arviointia varten.

Tekninen tiimimme toimittaa yksityiskohtaisen Design for Manufacturability (DFM) -palautteen ja viralliset kaupalliset tarjoukset 24 tunnin sisällä.

Suora tekninen sähköposti: Erica@dazaocn.com

Ota yhteyttä

Suositut Tagit: 5-akselinen CNC-työstöpuolijohdetyhjiökammio, ultrakorkean tyhjiökammion valmistus, puolijohdekuormituskammion suunnittelu, laatikon muotoinen suurtyhjiökammio, pallomainen uhv-kammio cf-laipoilla